辅助真空系统

1、辅助真空系统的功用及组成

对于体积小、放气速率和漏气速率都小的被检件可直接与检漏仪的外接法兰连接进行检漏，无需辅助真空系统。对于漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连接时，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。要在此种情况下进行检漏，只有调节节流阀，使之稍稍开启，但这又会使反应时间加长。此外，被检件初次抽真空时，其中的水气、油蒸气等都可能污染检漏仪，因此也需要有辅助真空系统。辅助系统由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成，如图1所示。次级泵可用扩散泵或罗茨泵(是否需要次级泵视具体情况而定)，前级泵最好用气镇式机械泵。

有些检漏仪本身带有一系列阀门，借助于这些阀门便可用检漏仪的抽气系统对小型的、放气与漏气都不大的被检件完成预抽和检漏工作，而不需另加辅助抽气系统。但是，从保持检漏仪灵敏度的稳定性的观点来看，最好不要用仪器本身的真空泵进行预抽。国外有些检漏仪附有一个辅助抽气系统，使用时较为方便。

2.检漏仪在辅助系统中的位置

检漏仪与辅助系统的连接方式有两种情况，两种方式的特点各不相同。在对清洁的没有大漏的容器进行检漏时，检漏仪应接在前级(低真空)一侧;反之，对于被污染了的容器，要在有大漏的悄况下找出小漏时，检漏仪应处于高真空一侧。连接检漏仪的位置应该是使仪器和被检件之间的流导为最大，使进人检漏仪中的氮浓度较高。

检漏仪接在前级一侧时，前级泵抽速的不稳定会使仪器噪声加大并使检漏灵敏度有所降低，为此最好在前级加一个稳压瓶，或者再串接一个扩散泵。

在设计辅助系统时，应在高真空一侧与低真空一侧都留有连接检漏仪的法兰。