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罗茨泵与前级泵抽速之间的关系

罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系,主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。如果容积效率低,则罗茨泵机组的有效抽速将会明显下降。如果罗茨泵的压力差超过许可的最大压力差,由于压缩功将使转子过热膨胀,而会被卡死。因为泵壳易于向周围环境散热,仍然是不太热的。

罗次泵最大允许压差范围在40-100hPa,在较高的压力范围(150hPa)时,允许的压力差稍高,因为被抽气体量多谢,改善了转子的冷却。由于压差的增加,必将引起所需功率也要增加。在罗茨泵的出口管道设置专用的气体冷却器,这时许可的最大压差可以增加,因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。在真空和高真空范围内,抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小,则压缩比降低,故抽速比多选择5:1。

1)当罗茨泵在较高压力下启动时,压力下降速度很快,达到了要求的压力,启动时虽然超过了最大许可压力差,但短时间超负荷(几分钟内)一般罗茨泵的马达不会发生问题。对入口压力非常低或前级泵气镇阀工作时,通常使用双级前级泵,否则罗茨泵所需的前级压力很难达到,而且,在这种压力下前级泵的抽速变得太低了。将导致压缩比太高,容积效率降低了。

2)泵入口压力处在粗真空范围内时,这是最大许可压力差变成了重要因素。罗茨泵与前级泵的抽速比,对入口压力为15hPa时时6:1,对入口压力为75hPa时是2:1.在粗真空范围内,罗茨泵和前级泵抽速比,对每种情况要分别去确定,一般来说,是比较小的。而容积效率相当好。


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