现象：真空泵抽空能力下降，经测试真空泵在无负载状态下极限真空为8Pa；真空泵进行拆解保养后，真空泵在无负载状态下极限真空小于1Pa。
维护保养的过程：对带回真空泵进行拆解保养及保养后性能测试，在拆解后发现真空泵腔体内有大量杂质沉积，真空油混浊且粘稠度较高，各级旋片出现不同程度磨损，止逆阀损坏、排气阀片断裂，具体说明如下：
1、真空泵油混浊且粘稠度较高，主要原因与腔室内大量杂质沉积和真空油更换周期较长有关，下图为真空泵腔室内放出的真空油及加入的新油。
2、真空泵抽气滤网有大量杂质沉积，网孔出现堵塞：
3、真空泵腔室内有大量杂质沉积和粘附，杂质会随真空泵的运行而流动，易造成真空泵转子卡死、真空泵各级旋片划伤及损坏、封堵油路、排气阀片断裂等情况，影响真空泵的抽空能力甚至导致真空泵转子等主要部件损坏。
因大量杂质已经粘附于腔室内，普通清洗难以去除，需采用化学试剂浸泡清洗和物理打磨的方法去除。经确认，腔体内杂质以胶渣沉积物为主，其他成分无法确定，还需与客户进行技术探讨进行深入了解。
4、排气阀片断裂，下图为换下的排气阀片的新旧对比：
排气阀片在真空泵内起到单向阀的作用，断裂后排气阀片单向阀作用失效，导致真空泵无法正常抽真空，从而真空泵抽真空能力下降。
5、真空泵内各级旋片出现不同程度磨损及划伤，真空泵一级旋片侧面摩擦面弧度已经被磨平，导致旋片配合间隙变大，影响抽空能力。
6、真空泵油位监视玻璃已经出现腐蚀及杂质附着的情况，无法清晰的对真空泵腔室内的油位进行观察。
7、真空泵转子抽排气滤网已经损坏，出现一定程度的腐蚀情况。
8、真空泵腔体密封圈已经损坏，不能继续使用可能会造成漏油现象。
9、真空泵止逆阀已经损坏，导致抽真空下降。
10、真空泵维护保养项目总结：
1）真空泵油更换；
2）真空泵内腔体及转子清洗、抛光；抽气滤网清洗；
3）真空泵一级旋片、二级旋片、小旋片更换；一级旋片及二级旋片各一幅（两片），小旋片为一片；
4）真空泵排气阀片更换；
5）真空泵油位监视窗玻璃更换；
6）真空泵转子抽排气滤网更换；
7）真空腔体密封圈更换。
8）真空泵止逆阀更换。
建议：在拆解检测中发现真空泵腔体内含有一些酸性杂质附着于腔体内壁及其他配件中，且真空泵内杂质太多，极易造成真空泵损坏，请注意真空等离子清洗机的真空泵需进行定期的拆解维护保养。
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